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PT2T125-160S压电偏摆台-纳动纳米

详细介绍

产品描述
PT2T125-160S开发用于需要在光学检查和成像系统中对镜子进行超高精度定位的应用。反射镜简单地固定在平台的倾斜平台上,可提供> ±1mrad的行程和亚微弧度的分辨率;低移动质量和优化的闭环控制可为高速应用提供出色的响应时间。
PT2T125-160S可单轴使用,型号为PT1T125-160S。
PT2T125-160S是采用压电陶瓷驱动的偏转台,平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,补偿量小,确保了平台的运动精度和超高的稳定性。
平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计,且中央通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。
可选择内置位置传感器。集成在压电偏转镜中的传感器是测量线性位移的线性传感器。闭环传感器可选择应变片式传感器或电容位置传感器,可获得更高的定位精度。
产品特性
—中空尺寸80x80mm
—优异的位置稳定性及亚毫弧度级分辨率
—θxθy 二维偏转
—闭环光束偏转角度≥±0.8 mrad
—内部集成应变片传感器
选配功能
—可定制转接装置及定制其它固定方式
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
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联系方式
上海纳动纳米位移技术有限公司
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